氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組是運(yùn)用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的旋片的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以獲得真空的一種變?nèi)輽C(jī)械真空泵。中選用作業(yè)液來(lái)停止?jié)櫥⑻畛浔们凰老?，分隔排氣閥和大氣時(shí)，即為通常所稱的旋片真空機(jī)組。。
在氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組中，而把泵與電機(jī)間接銜接或用聯(lián)軸器銜接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中，又有單級(jí)和雙級(jí)之分。在單級(jí)泵中，由于選用的構(gòu)造方式和參數(shù)不同，泵的極限壓力和用途也不同。
氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組的種類繁多，在選型時(shí)特別要注意：
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境的影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，首先選擇耐腐蝕允許部分顆?；蛘羝恼婵毡?，還可以考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
3、所選氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組在其正常工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中所產(chǎn)生的全部氣體量，氣冷羅茨螺桿泵真空機(jī)組否則影響真空度。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種真空泵不能滿足抽氣要求，需要幾種真泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。
