真空泵系統(tǒng)基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產(chǎn)和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機組進行抽氣的情況較多。
真空泵系統(tǒng)在使用過程應當注意：
1、真空泵系統(tǒng)的可靠性問題：根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴重性而定，*根據(jù)自己的要求。特別注意，這項參數(shù)是在滿負荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的，是較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行，該數(shù)值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能*是考驗制造商的技術實力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。
2、真空泵系統(tǒng)的電磁干擾問題：如果有精密電路控制真空泵系統(tǒng)，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的實驗室真空泵。
3、帶負載啟動問題：如果微型氣泵在啟動前它的抽氣口就已經(jīng)存在真空或排氣口已經(jīng)存在壓力，則要考慮泵的另一技術參數(shù)：進氣口負載Pis值，排氣口啟動負載Pos值。典型應用事例就是使用微型氣泵維持容器內(nèi)的真空或正壓狀態(tài)，當容器內(nèi)的真空或正壓低于設定值時，需要泵通電啟動，高于設定值時停機。
4、真空泵系統(tǒng)的介質(zhì)溫度問題：根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。
要特別注意：真空泵系統(tǒng)不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的氣體。更不能作為傳輸泵(即從一個容器抽送到另一個容器)使用。
