真空泵是一種通過(guò)排除容器內(nèi)的氣體而將其壓力降至較低水平的設(shè)備，其中滑閥真空泵是其中一種常見(jiàn)的真空泵類(lèi)型。
在滑閥真空泵工作時(shí)，首先將機(jī)內(nèi)空間與外界隔離，打開(kāi)排氣閥的同時(shí)關(guān)閉吸氣閥，此時(shí)空室通過(guò)排氣閥將氣體抽出，空室內(nèi)部壓力隨著氣體的排出而降低，同時(shí)前限壓力和相應(yīng)的有效抽速提高。
隨后，關(guān)閉排氣閥，打開(kāi)吸氣閥。此時(shí)，由于外界氣體的壓力高于空室內(nèi)部的壓力，外界氣體自然進(jìn)入空室，壓力和抽速均隨之降低。為了保證這一周期的正常進(jìn)行，必須保證排氣閥的關(guān)閉時(shí)間短于吸氣閥的開(kāi)啟時(shí)間，并且不能有殘余氣體留在空室內(nèi)，否則將會(huì)影響下個(gè)周期的工作。
滑閥真空泵在不同的使用場(chǎng)景下，其工作原理會(huì)有所不同。例如在被用于薄膜技術(shù)或半導(dǎo)體制造過(guò)程中，滑閥真空泵需要進(jìn)行調(diào)整以提高其性能和穩(wěn)定性。
此外，滑閥真空泵通常需要與其他真空設(shè)備一起使用，例如油封泵或分子泵，以進(jìn)一步提高其工作效率。不同設(shè)備之間的組合使用將有所不同，取決于特定的工作環(huán)境和要求。
